Фиктивные пластины
Слово «манекен» означает «подделка» или «смоделирован». Фиктивные пластины, также известные как поддельные пластины, обычно не имеют рисунка или только нескольких узорчатых слоев. Их основные сценарии применения:
Используется для отладки и калибровки полупроводникового оборудования, чтобы убедиться, что оно находится в оптимальном состоянии перед формальным производством.
Используется при введении новых процессов или корректировки существующих, позволяя тестировать и оптимизация, чтобы снизить риски для массовых производственных пластин.
Тестовые пластины
Тестовые пластины (также называемые инженерными пластинами) проходят полный процесс процесса и содержат различные закономерности и структуры. Их основные функции:
Во время введения новых чип -продуктов тестовые пластины используются для проверки и оптимизации производственного процесса, что в конечном итоге обеспечивает массовое производство.
Когда проблемы процесса возникают с массовыми производственными пластинами, тестовые пластины используются для соответствующего тестирования DOE (проектирование экспериментов), чтобы помочь улучшить процесс.
Массовые производственные пластины
Массовые производственные пластины используются для производства полупроводниковых устройств, которые отправляются клиентам. Эти пластины подвергаются строгому контролю качества в ходе производственного процесса, чтобы гарантировать, что конечные продукты соответствуют требованиям клиентов.
Почему эти типы вафель классифицируются отдельно?
Различие в основном основано на стоимости и важности. С точки зрения стоимости и критичности:
Массовые производственные пластины> Тестовые пластины> фиктивные пластины.
Массовые производственные пластины отправляются клиентам и представляют экономическую спасательную линию всей компании. Важно, чтобы они завершили производство как с высоким качеством, так и с высокой доходностью. Их параметры процесса и рабочие процессы являются относительно фиксированными, и любые изменения должны быть на 100% безопасными и надежными.
Следовательно, более дешевые и более гибкие фиктивные пластины и инженерные (ENG) пластики используются, чтобы избежать тратить ценные массовые производственные пластины во время тестирования и оптимизации процессов.