Что такое вафельная выемка?
Выемка — это небольшая канавка, вырезанная непосредственно под кремниевой пластиной, обычно V-образной или U-образной формы. Notch имеет две функции. Один из них — отметить кристаллическую ориентацию кремниевой пластины, например:<100>, <110>, <111>и т. д. Другая функция заключается в том, чтобы обеспечить правильное позиционирование и выравнивание кремниевой пластины в оборудовании для производства полупроводников. Обычно насечки встречаются на 8-дюймовых и 12-дюймовых пластинах.
Как выглядит Нотч?
Размер насечки должен строго соответствовать стандартам SEMI, как показано на рисунке выше:
1. Vw представляет собой общую ширину выреза, а его размер зависит от диаметра и толщины кремниевой пластины.
2. Vh — глубина выреза, обозначающая расстояние по вертикали от края кремниевой пластины до дна канавки. Обычно он составляет от 1,0 до 1,25 мм. Vh имеет решающее значение для обеспечения точности выравнивания надреза.
3. AngV, то есть Notch Angle. AngV — это угол выемки, который представляет собой угол между краями канавки с обеих сторон. Обычно это от 89 до 95 градусов. Этот угол играет решающую роль в геометрии и расположении выреза.
4. R1 и R2 представляют собой радиусы углов с обеих сторон выреза. Эти два радиуса определяют гладкость углов канавок, влияют на концентрацию напряжений в надрезе и влияют на механические свойства кремниевой пластины.
5. Vr — радиус кривизны внизу выреза, обозначающий размер дуги внизу паза. Vr может изменить форму кривой и плавность выреза. Увеличение Vr может сделать нижнюю часть выреза более плоской, что помогает снизить концентрацию напряжений.
6. Ориентация выреза: Направление паза параллельно конкретной ориентации кристалла пластины, допускается отклонение ±2 градуса.