Каковы этапы процесса очистки кремниевой пластины?

Примеси, адсорбированные на поверхности кремниевой пластины, можно разделить на три типа: молекулярный тип, ионный тип и атомарный тип. Среди них сила адсорбции между молекулярной примесью и поверхностью кремниевой пластины слаба, и такие частицы примеси относительно легко удалить. Большую часть из них составляют жировые примеси, которые являются гидрофобными и оказывают маскирующее действие на удаление ионных и атомарных примесей.
Поэтому при химической очистке кремниевых пластин их следует удалять в первую очередь. Ионные и атомарные адсорбированные примеси представляют собой химически адсорбированные примеси, и их адсорбционные силы велики.
Как правило, количество адсорбированных примесей атомарного типа невелико, поэтому во время химической очистки сначала удаляются адсорбированные примеси ионного типа, а затем удаляются оставшиеся примеси ионного типа и примеси атомарного типа.
Наконец, промойте кремниевую пластину деионизированной водой высокой чистоты, а затем нагрейте и высушите или высушите, чтобы получить кремниевую пластину с чистой поверхностью.
Подводя итог, общий процесс очистки кремниевых пластин следующий: удаление молекул → деионизация → деатомизация → промывка деионизированной водой. Кроме того, для удаления оксидного слоя с поверхности кремниевой пластины часто добавляют этап вымачивания в разбавленной плавиковой кислоте.