Описание

Технические параметры

Карманная пластина (также известная как несущая пластина): введение продукта и технологические применения

Основное определение
Карманная пластина, также известная как несущая пластина, — это вспомогательная кремниевая пластина, используемая в современных полупроводниковых упаковках (таких как упаковка -на уровне WLP, 3D-упаковка и процессы TSV) для временной поддержки и переноски сверх-тонких пластин (тонкие пластины, обычно толщиной < 50 мкм). Он не участвует в конечной функции чипа и считается критически важным расходным материалом.

product-3000-2122

Основные функции

Механическая поддержка. Сверхтонкие пластины очень-очень чувствительны к деформации, растрескиванию или трудностям в обращении. Карманные пластины обеспечивают жесткую поддержку за счет вакуумной адсорбции или временного соединения (например, клей, отверждаемый УФ-излучением, термопластичный клейкий слой);
Обеспечение совместимости процессов: позволяет тонким пластинам беспрепятственно проходить через переднее-конечное/заднее-оборудование, такое как фотолитография, травление, гальваническое покрытие и CMP (эти устройства изначально были разработаны для стандартных пластин толщиной 725 мкм);
Снижение напряжений и короблений. Специально разработанная «карманная» структура-канавка, выточенная на поверхности несущей пластины, которая соответствует форме переносимой пластины (обычно немного больше размера пластины, с микронным-зазором на уровне)-эффективно ограничивает проскальзывание пластины и снижает термическое и механическое напряжение;
Улучшенный выход и повторяемость: обеспечивает стабильную точность положения пластин (наложение) во время многоэтапных-процессов, что особенно важно для высокоточных-процессов, таких как заполнение TSV и изготовление RDL.

Материал и технические характеристики

Материал: в основном монокристаллический-кремний (кремний CZ или FZ) с высокой степенью соответствия коэффициента теплового расширения (КТР) пластине устройства (~ 2,6 ppm/градус), предотвращающий расслоение или растрескивание из-за изменений температуры;
Диаметр: обычно такой же, как у переносимой пластины (например, 200 или 300 мм), с толщиной примерно 725–1000 мкм (обеспечивающая достаточную жесткость);
Обработка поверхности: на передней стороне имеется точно обработанная карманная канавка (допуск по глубине ± 1 мкм), а задняя сторона часто полируется или имеет микро-канавки для оптимизации однородности вакуумной адсорбции;
Дополнительные функциональные возможности: некоторые высокопроизводительные пластины-носители содержат датчики температуры, точки контроля давления или используют покрытия с низким-отражающим эффектом для облегчения оптического выравнивания.

Отличия от обычных пластин-носителей
Не все несущие пластины являются карманными:
Обычная пластина-носитель: основана исключительно на плоской адсорбции (например, адгезия синей пленки + продувка воздухом с обратной стороны), не имеет физических ограничивающих структур и подходит для более толстых пластин или простых процессов;
Карманная пластина: конкретно относится к высокоточным-несущим пластинам с индивидуальными канавками (карманами), обеспечивающими нулевое проскальзывание, высокую точность позиционирования и низкое снятие напряжений. Это основной расходный материал для упаковки 2,5D/3D.

Отраслевые приложения и тенденции
Широко используется в: Fan-Out WLP (например, TSMC InFO), стекировании HBM, CoWoS, гетерогенной интеграции чиплетов и других передовых платформах упаковки;

Направление разработки: композитные несущие пластины (Si + керамическая подложка), многоразовые типы (стойкость к высоким температурам и химической коррозии) и интеллектуальные несущие пластины (встроенное зондирование + RFID-отслеживание).

почему выбрали нас

Наша продукция поставляется исключительно от пяти крупнейших мировых производителей и ведущих отечественных фабрик. Поддерживается высококвалифицированными отечественными и международными техническими командами и строгими мерами контроля качества.

Наша цель — предоставить клиентам комплексную индивидуальную поддержку, обеспечивая бесперебойные, профессиональные, своевременные и эффективные каналы связи. Мы предлагаем низкий минимальный объем заказа и гарантируем быструю доставку в течение 24 часов.

Заводская выставка

Наш обширный ассортимент состоит из продуктов 1000+, поэтому клиенты могут размещать заказы всего за одну штуку. Наше собственное оборудование для нарезки кубиками и обратного шлифования, а также полное сотрудничество в глобальной производственной цепочке позволяют нам осуществлять быструю доставку, обеспечивая комплексное удовлетворение и удобство клиентов.

Наш сертификат

Наша компания гордится различными полученными нами сертификатами, включая патентный сертификат, сертификат ISO9001 и сертификат национального высокотехнологичного предприятия. Эти сертификаты отражают нашу приверженность инновациям, управлению качеством и стремлению к совершенству.