Процесс приготовления кремниевой пластины

Процесс подготовки кремниевой пластины в основном включает в себя следующие этапы:
Плавление кремния: во-первых, кремний чрезвычайно высокой чистоты плавится при высокой температуре с образованием кремниевой жидкости.
Рост монокристалла: затем из жидкого жидкого кремния выращивают монокристаллический кремний с помощью полупроводниковой технологии, такой как метод Чохральского или метод зонной плавки.
Резка слитков кремния: выращенный монокристаллический кремний разрезается на кремниевые пластины толщиной около 0.5-1 мм.
Полировка. Наконец, кремниевые пластины подвергаются прецизионному процессу полировки для получения гладкой поверхности, отвечающей потребностям электронного оборудования.